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超精密工業清洗之納米工藝

時間:2017-12-12    點擊: 次    來源:網絡    作者:佚名 - 小 + 大

超精密工業清洗之納米工藝


當前,微電子技術已經發展到納米工藝水平,90納米的生產線已經在建設之中.通信設備中大量使用的波分復用光電子器件(DWDM),分辨率要達到精確地分開和識別不同波長的光.這類產品的清洗要達到近乎完美的程度,殘留污物的直徑要在0.1nm左右.普通的電子顯微鏡已經難以觀察到。超精密工業清洗必須在超級凈化的環境中進行,需要使用超高純度的清洗劑和DI水(去離子水),以及高級清洗裝置.除了部分簡單設備外,目前我國尚沒有企業能夠提供該類技術和設備,基本依靠進口。

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